12月5日，学校仪器科学与技术学院执行院长、教授赵立波，智能传感与系统研究所所长、副研究员林启敬，青年教师韩香广、王路，纳米学院研究员金宏等一行赴苏州明皜传感科技股份有限公司对接交流。明皜传感封测总监叶裕德、董事会秘书李泽雍等热情接待，纳米学院、研究院院长助理张翼、重点办钟素珍等组织了此次交流并陪同对接。

会上，明皜传感董事会秘书李泽雍从公司的发展历程、所从事的MEMS传感器研发、设计、生产销售等向与会人员进行了详细的介绍。我校仪器学院副研究员林启敬则有针对性地介绍了精密所的团队概况、重点研究成果以及技术优势。赵立波教授对明皜传感自主研发的3D MEMS-CMOS微加工工艺平台表示肯定，并对公司主要产品速度传感器、陀螺仪压力传感器等进一步询问了解，明皜传感封测总监叶裕德向与会人员一一进行了详细的介绍。双方围绕晶圆制造过程中制造工艺平台的搭建与优化、芯片封装、MEMS重点研究方向的协同创新、牵头攻关等方面进行了深入的交流，并表达了进一步交流与合作的意愿。

赵立波教授一行还前往214所、中科院纳米所参访交流，并到公共学院与纳米学院的科研骨干老师进行了深入的座谈交流，双方就项目研发与联合申报、平台共建等方面深入交流，进一步落实合作模式与合作框架。

供稿：重点办

编辑：范福娟